洁净厂房设计的特点
微电子工业洁净厂房设计是一项综合技术，它与其他工业厂房设计有类似之处，但 也有一些特殊之处。主要特点如下：
1. 要根据生产产品的特点，确定技术要求。如空气洁净等级、防微振、高纯物质等要求是不同的，应按具体情况确定。
2. 为确保洁净室内所必须的洁净度,各个专业均要求不引入或少引入污染物,不产生和少产生污染物,不滞留或少滞留污染物。
3．洁净厂房设计是各专业设计技术的综合，要求各专业密切协同，相互渗透和合理安排。
4． 洁净厂房设计应确保安全生产和环保要求。各专业设计必须满足消防防火要求。同时由于微电子工业的生产特点，生产过程中产生出一些废水、废气，必须经过特殊处理达到国家排放标准后才能排放。
5． 微电子工业发展日新月异，洁净厂房本身是一个技术密集、资金密集的产物，投资非常巨大，这就要求洁净厂房设计要考虑一定的灵活性，以便产品换代时方便地进行技术改造。目前 SMIF 隔离技术的采用，就是一种能适应技术发展的灵活的设计。
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